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美国KLA - TENCOR光学表面分析仪
KLA-Tencor公司为**美资半导体（芯片）设备供货商，公司总部在美国硅谷，拥有 6000 多名员工，自1976年成立以来不断致力于产品研究与发展，客户提供更*善更人性化服务，并协助半导体（芯片）厂商创造高品质、**率的产品，目前分公司遍布美洲、欧洲、亚洲等国家。KLA-Tencor 一直致力于帮助其客户降低运营成本并增加收益，并已经成为其坚定不移的长期合作伙伴。
KLA-Tencor主要产品:
CS20光学表面分析仪
WaferSight PWG 已图案晶圆几何形状测量系统
LMS IPRO6 光罩图案位置测量系统
K-T Analyzer 9.0 先进数据分析系统
2920 系列宽波等离子图案晶圆缺陷检测系统
Puma 9850 激光扫描图案晶圆缺陷检测系统
Surfscan SP5 无图案晶圆缺陷
Teron SL650 光罩检测系统
处理450mm硅片的Surfscan SP3系统
KLA-Tencor主要产品:
CS20光学表面分析仪
WaferSight PWG 已图案晶圆几何形状测量系统
LMS IPRO6 光罩图案位置测量系统
K-T Analyzer 9.0 先进数据分析系统
2920 系列宽波等离子图案晶圆缺陷检测系统
Puma 9850 激光扫描图案晶圆缺陷检测系统
Surfscan SP5 无图案晶圆缺陷
Teron SL650 光罩检测系统
处理450mm硅片的Surfscan SP3系统
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