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网址：www.tycorady.com
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供应AALBORG气体质量流量计
产品特点：性价比高、响应速度快、可靠性高，易于集成、环路保护、备总量计数器
典型应用：CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺。
设计特点：
－刚性金属结构
－流程范围从0开始到10sccm直到0到1000slpm
－*大压力500psig（34.5Bar）
－泄漏率1＊10-7氦气
－NIST系统标定可追踪的证明
－可倾斜的LCD读表
－0-5Vdc或4-20mA信号输出
－电路保护
－可用作便携式的设备
－0到**比例显示
－可配备流量计算机
精度：±1.5％满量程，包括59℉到77℉的气体温度（15℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的压力。可选±1％满量程（标定精度），在给定的温度与压力值条件下。
重复性：±0.5％满量程
回应时间：实际流速±2％超过满量程25-**一般2秒
温度系数：0.15％满量程／℃
压力系数：0.01％满量程／psi（0.07bar）
气体／周围温度：32℉-122℉（5℃-50℃）
输出信号：0-5Vdc，**1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路电阻
传感器输出：＋12Vdc；*大200Ω。＋24Vdc可选
时间恒量：800ms
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